人類在近代史上的科學(xué)探索步伐迅速，從電類的發(fā)明開(kāi)始，短短一個(gè)世紀(jì)的時(shí)間，工業(yè)發(fā)展已經(jīng)進(jìn)入了智能化的技術(shù)環(huán)境，很多原始的診斷方式也因?yàn)闀r(shí)效性、敏感度不夠等原因而被放棄，隨著大數(shù)據(jù)時(shí)代的來(lái)臨和人工智能水平的提高，各行各業(yè)都開(kāi)始使用大數(shù)據(jù)手段和智能制造，從而帶動(dòng)生產(chǎn)生活的進(jìn)步！傳感器在進(jìn)行工程自動(dòng)化系統(tǒng)的檢測(cè)過(guò)程中，以及對(duì)工作環(huán)境和操作對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，傳感器就可以發(fā)揮巨大的作用，將監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化后提供給機(jī)電一體化系統(tǒng)，確保其運(yùn)行的準(zhǔn)確與可靠。
振動(dòng)傳感器是由彈簧、阻尼器及慣性質(zhì)量塊組成的單自由振蕩系統(tǒng)（見(jiàn)圖1）。利用質(zhì)量塊的慣性在慣性空間建立坐標(biāo)，測(cè)定相對(duì)大地或慣性空間的振動(dòng)加速度。在測(cè)試系統(tǒng)中，振動(dòng)傳感器可以將機(jī)械量接收下來(lái)，并轉(zhuǎn)換為與之成比例的電量。需要注意的是：振動(dòng)傳感器是將原始要測(cè)的機(jī)械量先做為振動(dòng)傳感器的輸入量，而不是直接將原始要測(cè)的機(jī)械量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏?，將原始的機(jī)械量作為輸入量后，再由機(jī)械接收部分加以接收，形成另一個(gè)適合于變換的機(jī)械量，最后由機(jī)電變換部分再將變換為電量。因此一個(gè)振動(dòng)傳感器的使用性能包括機(jī)械接收部分和機(jī)電變換部分，它們共同決定著振動(dòng)傳感器的工作性能。振動(dòng)傳感器分類時(shí)，在機(jī)械接收原理方面，只有相對(duì)式、慣性式兩種；在機(jī)電變換方面，由于其內(nèi)部機(jī)電變換原理的不同，因此輸出的電量也各不相同。有的是將機(jī)械振動(dòng)量的變化變換為電阻、電感等電參量的變化；有的是將機(jī)械量的變化變換為電動(dòng)勢(shì)、電荷的變化等。故而其種類繁多，有電動(dòng)式、壓電式、電渦流式、電感式、電容式、電阻式等。
按工作原理劃分，振動(dòng)傳感器的類型主要包括電阻類、電感電容壓電類、霍爾效應(yīng)類和磁電類，其被測(cè)量及變換原理如表1所示。
